科技部1.09亿下单上海微电子步进扫描式光刻机

xinwen.mobi · 发表于昨天 00:32

要说这科技圈这两天有啥大动静，那绝对绕不开一件事：上海微电子拿下了一单大生意，给科技部交付一台步进扫描式光刻机，金额差不多就是1.09亿。

这事儿听着就挺带劲的，尤其是里面的几个细节，很值得说道说道。

采购项目不一般，看点不在价钱
虽说成交额1.09亿这个数听着挺唬人的，但这单生意最有意思的地方，还真不是这个。

采购方式很特殊
这次采购在官方文件里标得清清楚楚，叫“单一来源采购”。按字面意思理解，就是“只此一家，别无分号”。按照规定，通常只有在货物使用了不可替代的专利、技术，或者有特殊需求只能从一家供应商那儿买时，才会用这种方式。这从一个侧面暗示，上海微电子这台设备，很可能有些东西是别人没有或者做不到的。

采购方的身份很特殊
招标方是谁呢？信息显示，是一个代号为“zycgr22011903”的采购主体。这个代号的背后，指向了科技部下属的国家关键物质结构实验室。用一个代号来替代正式名称，通常意味着项目本身有一定的保密需求。

要拿机器去做什么呢？
这次采购的型号是SSC800/10。根据相关信息，这台机器的采购目的是用于研发高密度神经电极阵列，需要制造出线宽极细、对准精度极高的微观结构。这可不是用来造手机芯片的，而是用在更前沿的科研领域。

把这些信息串起来，这次采购的重点显然不是去和国际巨头拼最尖端的芯片制造技术，而是去满足一项特定的、高精尖的科研需求。采购方式和采购方身份的特殊性，共同指向了一个结论：这台机器解决的，很可能是市场上现有产品“卡脖子”的那个特殊问题。

这台光刻机水平到底咋样？
光刻机性能的核心参数主要是分辨率和套刻精度。这台SSC800/10的分辨率是≤110nm，套刻精度是≤15nm。

这是个什么水平呢？说起来可能和普通人的直觉有些差别。用比较通俗的方式来对比一下：

参数上海微电子 SSC800/10 国内顶尖（工信部目录）国际巨头（用于先进制程）
分辨率 ≤ 110nm 浸润式型号 ≤ 65nm EUV光刻机可支持7nm以下工艺
套刻精度 ≤ 15nm 干法型号 ≤ 25nm 数值通常优于此水平
设备类型干法光刻机干法 & 浸润式 EUV（极紫外）
能看出来，这台机器本身是干法光刻机，不是目前用于制造7nm、5nm这类顶级芯片的浸润式光刻机或EUV光刻机。它的技术水平，相当于国际上用于成熟制程（比如90nm）的DUV光刻机。用大家比较熟悉的手机芯片来打比方，它虽然做不了现在最新的旗舰芯片，但用来满足特定科研需求、生产一些成熟制程芯片，是完全可以的。

所以，对于这次中标，比较客观的看法是：它不是一次“弯道超车”或者“全面超越”，但绝对是一次实实在在的“自主可控”和“能力证明”。有买不到、别人不给的特定设备需求，咱们自己的企业能拿出来、能顶上用，这个意义本身就非同小可。

市场为啥跟着激动了？
消息一出来，资本市场马上就有了反应。A股的张江高科股价午后直线拉升，一度涨了超过8%。这是因为张江高科通过全资子公司，是上海微电子的股东之一。

市场资金的兴奋点很清晰：

看到了“国家队”的支持信号：科技部通过这种方式采购，本身就是对国产设备能力的认可和背书。

嗅到了国产替代的加速：光刻机是芯片制造的“心脏”，任何进展都意味着在“卡脖子”环节上松了一分。有券商就分析认为，这种突破会带动上游材料、精密机械等整个产业链的升级。

这件事到底说明了啥？
简单概括一下，这次中标至少说清楚了几个事儿：

该有的都有：上海微电子是国内少数，甚至可以说是唯一具备光刻机整机研发制造能力的企业，这地位暂时没人能替代。

该用的能用：在特定领域和成熟制程范围内，国产设备已经能够满足从产业到科研的实用需求。今年5月，上海微电子就宣布其90nm光刻机已经实现量产。

该闯的还得闯：必须清醒地看到，在追求EUV光刻机这种最顶尖技术的道路上，依然挑战巨大。ASML一家就占了全球高端市场超过90%的份额，而且是唯一能造EUV光刻机的公司。

总之，1.09亿这个数字背后，不只是卖出去了这么一台机器，更不是一个终点。它更像是立起来的一个路标，既提醒我们走了多远，也告诉我们前面的路还有多长。

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科技部1.09亿下单上海微电子步进扫描式光刻机

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